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Substrat-Heizmodul

Substrat-Heizmodule werden für Thermokompressions-, Thermosonic-, Curing- und Lötprozesse genutzt, um Substrate von unten zu erwärmen.

Es sind verschiedene Typen von Substrat-Heizmodulen erhältlich, die sich der beheizbaren Fläche, Leistung, Heizrampen sowie optionalen Sonderlösungen für die Befestigung von WafflePak oder GelPak-Halterungen unterscheiden.

Substrat-Heizmodule sind mit Prozessgas-Module kombinierbar, um Bondprozesse in einer kontrollierten Inertatmosphäre zu fahren, etwa um die Oxidation von AuSn-Legierungen zu verhindern oder bestehende Oxidschichten auf Indium-Lot zu reduzieren.

  • Substrat-Heizmodul

Highlights*

  • Temperaturgesteuertes Profil (Heizen/Kühlen)
  • Gleichmäßige Wärmeverteilung
  • Beheizte Fläche mit thermischer Kompensation
  • Spezialbeschichtete Oberfläche
  • Vakuum-Substrat-/Trayhalter
  • Kundenspezifische Vakuumstrukturen für ungewöhnliche Substratoberflächen
  • Einsatz von Prozessgasen (N2, N2H2, Ameisensäure) möglich
  • Add-on Prozessgas-Modul
  • Add-on Formic-Acid-Modul

* je nach System und Konfiguration

Verfügbar für FINEPLACER® lambda

Substrate Heating Module FA7

Power:1000 W
Heated area:50 mm x 50 mm
Temperature (max):400 °C
Temperature Steadiness:±2 %
Temperature ramps (max): 20 K/s
Tray Holder:    2"
Standard load:    100 N
Reinforced load:500 N
Sales code: FA7

Substrate Heating Module FA8

Power:400 W
Heated area:50 mm x 50 mm
Temperature (max):400 °C
Temperature Steadiness:±2 %
Temperature ramps (max): 6 K/s
Tray Holder:    2"
Standard load:    100 N
Reinforced load:500 N
Sales code: FA8

Substrate Heating Module FA10

Power:250 W
Heated area:20 mm x 20 mm
Temperature (max):400 °C
Temperature Steadiness:±2 %
Temperature ramps (max): 20 K/s
Tray Holder:    2"
Standard load:    20 N
Sales code: FA10

Substrate Heating Module FA11

Power:850 W
Heated area:15 mm x 9 mm
Temperature (max):400 °C
Temperature Steadiness:±2 %
Temperature ramps (max): 100 K/s
Tray Holder:    2"
Standard load:    20 N
Integrated process gas module;
Adaptable for different mounting designs;
Sales code: FA11

*Technische Informationen sind Standardwerte (andere Werte auf Anfrage), sie können nicht als Grundlage eines rechtlich verbindlichen Angebots herangezogen werden. Änderungen bleiben vorbehalten.