Spinner
 

Prozessgas-Modul

Das Prozessgas-Modul ist ein Add-on für Substrat-Heizmodule. Es kommt in Lötprozessen zum Einsatz, für die bestimmte Prozessumgebungen benötigt werden. Das Prozessgas-Modul ermöglicht es, inertes Gas, Formiergas und mit Ameisensäure angereicherten Stickstoff (in Verbindung mit dem Formic-Acid-Modul) als homogenen Gasfluss in den Prozess zu integrieren.

Die Abmessungen des Moduls variieren in Abhängigkeit zum zugehörigen Substrat-Heizmodul.

  • Prozessgas-Modul

Highlights*

  • Anwendungsspezifische Kammeröffnungen erhältlich
  • Nachrüstbar für unterschiedliche Substrathöhen
  • Einstellbare aktive Flussmenge
  • Leichte und schnelle Bedienung
  • Integrierte Parallelabsaugung

* je nach Konfiguration

Verfügbar für FINEPLACER® pico ma

Process Gas Module ..IF

Chamber dimension:depending on substrate
Active flow volume:1 Nl/min - 10 Nl/min
Sales code:..IF

*Technische Informationen sind Standardwerte (andere Werte auf Anfrage), sie können nicht als Grundlage eines rechtlich verbindlichen Angebots herangezogen werden. Änderungen bleiben vorbehalten.